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无尘机器人
发布时间: 2018-09-19 14:12
用于半导体、有机EL、LCD面板、太阳能面板
长伸展距离水平手臂
NT系列无尘机器人设计的目的是让一个机器人可以伸展开来管护多达四个FOUP而不必使用线性轴。NT系列采用下一代设计，以400晶片每小时（WPH）的速率来搬运300mm或450mm晶圆，而没有使用校准器。
长伸展距离水平手臂
NT系列无尘机器人设计的目的是让一个机器人可以伸展开来管护多达四个FOUP而不必使用线性轴。NT系列采用下一代设计，以400晶片每小时（WPH）的速率来搬运300mm或450mm晶圆，而没有使用校准器。
时（WPH）的速率来搬运300mm或450mm晶圆，而没有使用校准器。
卓越的伸展
距离单个的NT系列手臂可以伸展到四个FOUP。选配的线性轴可以增加FOUP最多到五个。
高吞吐量
标准NT机器人的吞吐量是用校准器280晶圆每小时（WPH）与不用校准器400WPH。可用选配的抓手，增加吞吐量到700WPH。
SEMI F47合规
NT型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。
SEMI S2合规
NT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。
碰撞检测
软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。
悬挂式安装
NT620型号具有吊装规格设计，用于在化学液体环境中使用，同时满足ISO1级的要求。
距离单个的NT系列手臂可以伸展到四个FOUP。选配的线性轴可以增加FOUP最多到五个。
高吞吐量
标准NT机器人的吞吐量是用校准器280晶圆每小时（WPH）与不用校准器400WPH。可用选配的抓手，增加吞吐量到700WPH。
SEMI F47合规
NT型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。
SEMI S2合规
NT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。
碰撞检测
软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。
悬挂式安装
NT620型号具有吊装规格设计，用于在化学液体环境中使用，同时满足ISO1级的要求。
应用范例
NT系列宽广的运动范围使其能够访问主室，而不需要一个梭子或额外的机器人。
布局范例
一个单个的NT系列机器人能够不使用轨道而只用2到4个FOUP就访问所有的EFEM。
NT系列机器人规格
| 型号 | NT410 | NT420 | NT510 | NT520 | NT620 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 构造 | 水平多关节型 | |||||
| 自由度 | 4 轴 | 5 轴 | 4 轴 | 5 轴 | 5 轴 | |
| 运动范围 |
θ1 轴 (旋转JT2) |
340° | 340° | 340° | 340° | 340° |
|
Z 轴 (上下JT3) |
400 mm | 400 mm | 470 mm | 470 mm | 600 mm | |
|
θ2 轴 (旋转JT4) |
340° | 340° | 340° | 340° | 340° | |
|
H1 轴 (旋转JT6) |
340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | |
|
H2 轴 (旋转JT7) |
- | 340° | - | 380° | 380° | |
| 最大伸展距离 | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,250.7 mm | |
| 重复性 | ± 0.1 mm （晶圆中心） | |||||
| 无尘度*1 | ISO 1级 | |||||
| 控制柜 | D60/D61 (规格见无尘控制柜) | |||||
*1: 于川崎的无尘间内测得
